電子束　/　 熱 阻 式 雙 門 塑 膠 真 空 鍍 膜 機
B4-Coating_4
型式 / MODEL : VCO-101-E
用途 / APPLICATION : 高品質光學元件鍍膜 . 如玻璃鏡片 . 塑膠 . 晶片等等
　　HIGH QUALITY OPTICAL FILM GLASS, PC AND WAFER…ETC.,
特性 / FEATURE : 抽氣速度快 . 膜厚均勻性佳 . 全自動安全保護控制
　　FAST PUMPING RATE, GOOD FILM UNIFORMITY, AUTOMATIC CONTROL AND PROTECTION
規格 / SPEC :
　主電源 / MAIN POWER : 3相220/380伏.50/60約120-250安培
　3PHASE 220/380V.50/60 HZ約120-250 A
　不銹鋼腔體/SUS CHAMBER : 直徑1100/1400 mm X高度1200/1600mm(或其他客戶指訂尺寸)
　 DIA.1100/1400mm X H.1200/1600mm(OR CUSTOMER SPEC)
　系列控制/SYSTEM CONTROL : PLC 程式安全保護控制
　PLC AUTOMATIC CONTROL AND PROTECTION
　真空邦浦 VACUUM PUMPS : 機械邦浦 4500/8500 L/MIN /MECHANIC PUMP
　魯式邦浦 1600/3400 M3 / HR / ROOS PUMP
　擴散邦浦 26英寸 23000 L / SEC / 26 INCH DIFFUSION PUMP
　--或其他客戶指訂 / CUSTOMER SPEC
　膜厚計 / THICKNESS MONITOR：光學式或石振盪式 / OPTICAL OR CRYSTAL
　電子束 / E-BEAM : 5-10 KW, 4X30CC坩堝 / 5-10 KW ON 4X30 CC CRUCIBLES
　須求空間尺寸.重量(約略) / NECESSARY SPACE . WEIGHT (APPROX):
　WXDWH: 2800 MMX 1500 MM X 2400 MM , 3000-5000 KG
選擇附屬功能 / OPTIONAL : 電漿 . 離子槍清潔及補助電鍍
　PLASMA. ION SOURCE CLEANING & ASSIST COATING
　氣體流量控制器 / GAS MASS FLOW CONTROLLER