說明:
在磁場中使冷陰極放電，從而使被電離的氣體分子埋置在陰極，同時將與陰極衝突時的陰極材料（Ti）濺射，連續製造活性吸氣膜。離子幫浦‧ Noble 幫浦‧ Excel幫浦是利用上述活動來進行排氣的超高真空幫浦。
因為完全不使用油等有機物,所以能得到完全無油的超高真空。運轉只需電力，沒有機械的運動，因此無震動‧無噪音。同時，即使是在突然停電或真空洩漏的情況，也不必擔心會污染被排氣體系統，因此在夜間無人操作時也可放心使用。Noble 幫浦‧ Excel幫浦是將離子幫浦所不擅長的非活性氣體的排氣速度進行改善后所製造的三極型離子幫浦，它除了有離子幫浦的全部特長，與離子幫浦相比還能進行非活性氣體的穩定排氣。
另外，Excel幫浦透過放電條件的最適化，在極高真空領域的放電特性得到改善。