組合泵浦

■概要
在組合幫浦中，透過鈦昇華幫浦與三極型粒子幫浦（Noble幫浦）的組合，發揮離子幫浦能夠方便地得到清潔的超高真空的特長，實現以低廉的價格獲得高排氣速度。

POWER系列 高性能低溫泵浦

■概要
氣體冷卻后會液化，繼續冷卻將凍結成固體（冰），不能再以氣體的形式存在。低溫幫浦就是利用這種現象的一種真空幫浦。它在內部裝備極低溫表面（排氣面），在此將氣體凍結來進行真空排氣，將氣體以固體形態進行儲存。
低溫幫浦有排氣速度快，能夠得到清潔的真空等的優點。但是，由於真空排氣后的氣體儲存在內部，在對一定量以上的氣體進行真空排氣后會出現排氣性能的低下，所以必須使其排氣性能恢復。
這種操作稱之為再生，具體來說就是使極低溫度表面（排氣面）的溫度上升至常溫，使以固體形態儲存的氣體再次氣化，排出低溫幫浦。
在進行再生期間，因為不能進行真空排氣，所以如何快速進行再生，同時如何增大氣體的儲存量從而減少再生的頻度，都是與半導體與電子部件的生產裝置以及其他真空裝置的生產性、運轉率有著很大關係。
POWER系列低溫幫浦是世界上首次透過自身的發熱功能與本社獨有的排氣嵌板（panel）構造解決了上述問題，是實用的排氣功能與多重運轉時的溫度穩定性經過提升的高性能的低溫幫浦。

低溫泵浦 POWERECO系列

■概要
為提升半導體制造裝置和電子元件製造裝置的工作效率，而縮短所搭載的干幫浦的再生（升溫）時間、啟動時間並提升排氣性能（排氣容量）起著極其重要的作用。 該系列產品是為更進一步提升工作效率而開發的干幫浦系列。