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電腦控制電子束 / 熱 阻 式 多 層 膜 光 學 真 空 自 動 鍍 膜 機
COMPUTER CONTROL ELECTRON BEAM SOURCE / THERMAL
VACUUM AUTO EVAPORATION COATER
型式/MODEL : VCO-101-E-A
用途/APPLICATION : 高品質光學元件鍍膜.如玻璃鏡片.塑膠.晶片等等
   HIGH QUALITY PORICAL FILM AS GLASS, PC AND WAFER…..ETC.,
特性/FEATURE : 全自動電鍍.全自動制程壓力控制.抽氣速度快.膜厚均勻性佳
   AUTOMATIC CONATING PROCESS & PRESSURE CONTROL, FAST PUMPONG RATE, GOOD     FILM UNIFORMITY,AUTOMATIC CONTROL AND PROTECTION BY PLC AND COMPUTER
規則/SPEC :
 主電源/MAIN POWER : 3相220/380伏.50/60約120-250安培
    3PHASE 220/380V.50/60 HZ約120-250 A
 不袗腔體/SUS CHAMBER : 直徑1100/1400 mm X高度1200/1600mm(或其他客戶指訂尺寸)
    DIA.1100/1400mm X H.1200/1600mm(OR CUSTOMER SPEC)
 系列控制/SYSTEM CONTROL : 電腦及PLC 程式安全保護控制
    COMPUTER PLC AUTOMATIC CONTROL AND PROTECTION
 真空邦浦 VACUUM PUMPS : 機械邦浦 4500/8500 L/MIN /MECHANIC PUMP
              魯式邦浦 1600/3400 M3 / HR / ROOS PUMP
              擴散邦浦 26英寸 23000 L / SEC / 26 INCH DIFFUSION PUMP
               -或其他客戶指訂 / CUSTOMER SPEC
 膜厚計控制器 / THICKNESS CONTROLLER:光學式或石振盪式 / OPTICAL OR CRYSTAL
 電子束 / E-BEAM : 5-10 KW, 4X30CC坩堝 / 5-10 KW ON 4X30 CC CRUCIBLES
 須求空間尺寸.重量(約略) / NECESSARY SPACE . WEIGHT (APPROX):
       WXDWH:2800 MMX 1500 MM X 2400 MM , 3000-5000 KG
選擇附屬功能 / OPTIONAL : 電漿 . 離子槍清潔及補助電鍍
       PLASMA . ION SOURCE CLEANING & ASSIST COATING
 氣體流量控制器 / MASS FLOW CONTROLLER

 



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