| 電子束 / 熱 阻 式 雙 門 塑 膠 真 空 鍍 膜 機 ELECTRON BEAM /THERMAL VACUUM EVAPORATION COATER |
 |
 型式 / MODEL : VCO-101-E用途 / APPLICATION : 高品質光學元件鍍膜
. 如玻璃鏡片 . 塑膠 . 晶片等等HIGH QUALITY OPTICAL FILM GLASS, PC AND WAFER…ETC., 特性 / FEATURE : 抽氣速度快
. 膜厚均勻性佳 . 全自動安全保護控制FAST PUMPING RATE, GOOD FILM UNIFORMITY, AUTOMATIC CONTROL AND PROTECTION 規格 / SPEC : 主電源 / MAIN POWER : 3相220/380伏.50/60約120-250安培 3PHASE 220/380V.50/60 HZ約120-250 A 不銹鋼腔體/SUS CHAMBER : 直徑1100/1400 mm X高度1200/1600mm(或其他客戶指訂尺寸) DIA.1100/1400mm X H.1200/1600mm(OR CUSTOMER SPEC) 系列控制/SYSTEM CONTROL : PLC 程式安全保護控制 PLC AUTOMATIC CONTROL AND PROTECTION 真空邦浦 VACUUM PUMPS : 機械邦浦 4500/8500 L/MIN /MECHANIC PUMP 魯式邦浦 1600/3400 M3 / HR / ROOS PUMP 擴散邦浦 26英寸 23000 L / SEC / 26 INCH DIFFUSION PUMP --或其他客戶指訂 / CUSTOMER SPEC 膜厚計 / THICKNESS MONITOR：光學式或石振盪式 / OPTICAL OR CRYSTAL 電子束 / E-BEAM : 5-10 KW, 4X30CC坩堝 / 5-10 KW ON 4X30 CC CRUCIBLES 須求空間尺寸.重量(約略) / NECESSARY SPACE . WEIGHT (APPROX): WXDWH: 2800 MMX 1500 MM X 2400 MM , 3000-5000 KG 選擇附屬功能 / OPTIONAL : 電漿
. 離子槍清潔及補助電鍍PLASMA. ION SOURCE CLEANING & ASSIST COATING 氣體流量控制器 / GAS MASS FLOW CONTROLLER |
|