◆歐.美.日.韓名廠真空泵浦.渦輪泵浦.鼓風機.真空錶等,總代理◆

電子束 /  熱 阻 式 雙 門 塑 膠 真 空 鍍 膜 機
ELECTRON BEAM /THERMAL VACUUM EVAPORATION COATER
型式 / MODEL : VCO-101-E
用途 / APPLICATION : 高品質光學元件鍍膜 . 如玻璃鏡片 . 塑膠 . 晶片等等
   HIGH QUALITY OPTICAL FILM GLASS, PC AND WAFER…ETC.,
特性 / FEATURE : 抽氣速度快 . 膜厚均勻性佳 . 全自動安全保護控制
   FAST PUMPING RATE, GOOD FILM UNIFORMITY, AUTOMATIC CONTROL AND PROTECTION
規格 / SPEC :
 主電源 / MAIN POWER : 3相220/380伏.50/60約120-250安培
    3PHASE 220/380V.50/60 HZ約120-250 A
 不袗腔體/SUS CHAMBER : 直徑1100/1400 mm X高度1200/1600mm(或其他客戶指訂尺寸)
     DIA.1100/1400mm X H.1200/1600mm(OR CUSTOMER SPEC)
 系列控制/SYSTEM CONTROL : PLC 程式安全保護控制
    PLC AUTOMATIC CONTROL AND PROTECTION
 真空邦浦 VACUUM PUMPS : 機械邦浦 4500/8500 L/MIN /MECHANIC PUMP
              魯式邦浦 1600/3400 M3 / HR / ROOS PUMP
              擴散邦浦 26英寸 23000 L / SEC / 26 INCH DIFFUSION PUMP
               --或其他客戶指訂 / CUSTOMER SPEC
 膜厚計 / THICKNESS MONITOR:光學式或石振盪式 / OPTICAL OR CRYSTAL
 電子束 / E-BEAM : 5-10 KW, 4X30CC坩堝 / 5-10 KW ON 4X30 CC CRUCIBLES
 須求空間尺寸.重量(約略) / NECESSARY SPACE . WEIGHT (APPROX):
            WXDWH: 2800 MMX 1500 MM X 2400 MM , 3000-5000 KG
選擇附屬功能 / OPTIONAL : 電漿 . 離子槍清潔及補助電鍍
            PLASMA. ION SOURCE CLEANING & ASSIST COATING
 氣體流量控制器 / GAS MASS FLOW CONTROLLER

 
 




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